含氟电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分

含氟气体：目前全球电子气体市场中含氟系列电子气体约占总量 30%左右。含氟电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分，主要用作清洗剂、蚀刻剂，也可用于掺杂剂、成膜材料等。典型的传统含氟电子气体包括 CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3 等。

四氟甲烷

需求量：微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体

应用领域：电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等

主要公司：雅克科技子公司科美特、中核红华、河南氟能、华特股份及 永晶化工，科美特

六氟乙烷

应用领域：用作等离子蚀刻气体、器件表面清洗剂，还可用于光纤生产与低温制冷

主要公司：括华特股份、中船重工 718 所

三氟化氮

需求量：2021 年 15800 吨，未来 3 年国内 NF3市场需求复合增速将为 29%左右

应用领域：化学气相淀积（CVD）装置的清洗

主要公司：派瑞特气、晓星新材料、昊华科技下属黎明院、雅克科技子公司科美特

六氟化硫

应用领域：电子级六氟化硫则主要应用于半导体及面板晶示器件生产工艺中的蚀刻与清洗

主要公司：雅克科技子公司科美特为国内六氟化硫龙头

2）硅烷：用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器 。国内电子级硅烷主要生产商包括硅烷科技（新三板挂牌）、中宁硅业（多氟多子公司）、天宏瑞科（陕西有色天宏与美国 REC 合资）等，兴洋科技、中能硅业等厂商自配多晶硅产能，主要产品以光伏等领域应用为主。

3）硼烷：在半导体工业中用作气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂剂，主要用做 P-型半导体芯片生产中的掺杂剂。北方特气已经成为我国境内半导体用乙硼烷主要供应源。华特股份募投项目中包含 3 万吨乙硼烷产能

4）乙硅烷：由于乙硅烷有别于硅烷的特殊化学特性(易分解)，在 PECVD、LPCVD 制造工艺中其成膜温度比硅烷低很多、成膜速率快、膜质量平滑均匀，乙硅烷分子中含硅量比硅烷高许多，因此，未来乙硅烷将会有广阔的使用空间

5）磷烷、砷烷：磷烷、砷烷均为半导体工艺中非常重要的电子气体，多用于离子注入、掺杂等工艺中。由于砷烷半导体工艺中的重要材料，迄今为止又尚无代用品，多年来国外一直对我国进口砷烷进行管制及禁运，对我国国家安全及经济发展构成威胁，所以，生产出中国制造的高纯砷烷意义重大并十分迫切。

6）三氯化硼：高纯三氯化硼主要用于 IC 制造工艺中技术要求很高、对电路成品率影响很大的化学气相淀积（CVD）成膜过程和等离子干法刻蚀过程，会对 IC 产品的品质带来很关键的作用，并且不能使用其他电子气体进行取代。主要布局公司：深冷能源和湖北荆州太和气体

7）锗烷：半导体工艺中，锗烷作为化学气相沉积硅-锗膜的前体，主要用于制造电子器件，如集成电路、光电器件，特别是制备异质结二极晶体管：当前国内已有或规划有锗烷产能的公司主要包括博纯气体、华特股份、太和气体及中环装备参股公司启源领先，其中博纯气体为国内龙头